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半导体

电子信息产业全球化
电子信息产业分类
电子仪器

        半导体设备的更新换代,推动了半导体工艺、半导体产品及整个电子装备的更新换代。因此,从本质上讲,半导体设备不仅支撑集成电路产业的发展,同时也支撑整个电子信息产业的发展。半导体设备包括前道设备、后道设备、制版设备、材料制备设备等,其中最为关键的是前道微细加工设备(包括对半导体芯片进行曝光、刻蚀、掺杂、薄膜生长等工艺加工的设备,以及测量设备)。近来随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展的而产生的微机电技术也引起了人们关注。微机电系统(Micro Electro-Me-chanical Systems,MEMS)是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。

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